太阳能板是一种能够将太阳能转化为电能的设备，也被称为“太阳能电池板”或“光伏板”。它由许多太阳能电池组成，这些电池由半导体材料制成，如硅、硒和铜铟镓硫等。当太阳光照射到太阳能电池上时，它的能量被吸收，然后会生成空穴-电子对。这些电子和空穴会移动并在电路中形成电流，从而产生能量。

完成制绒工艺的硅表面布满金字塔结构，能够有效降低光（特别是可见光）的反射率，其对电池光生电流的影响主要有以下几点：

a. 减少硅片表面光发射，增加光子吸收，光生电流增大。

b. 改变光进入硅中的角度，增加光在硅中的传输距离，增加光子吸收，光生电流增大。

c. 到达硅片背面的长波光子因角度改变，有可能再次反射回硅内而被硅吸收，形成光陷阱。

金字塔主要测量难点：

• 金字塔的真实3D结构

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• 由于倾斜角度过大（50度以上 ）而导致无法测量完整

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• 横向间距（微米级）过小而无法识别

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太阳能金字塔结构

针对太阳能电池板的测量分析，马尔可以提供相应的MarSurf CM Select测量解决方案。

马尔3D共聚焦定制化显微镜

• 基于CMP和Ture Detection双重技术的非接触式测量

• 全电动轴CNC控制

• 测量快速及可自动高清拼接

• 最大可测角度高达71.8度

• 可达纳米级的Z向分辨率

• 可达亚微米级的横向分辨率

• 操作简单方便，可实现自动化检测

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– 在太阳能电池中测量参数

• 2D 和3D 形貌

• 高度、角度、尺寸等微观几何测量分析

• 面积、体积、直径等颗粒统计分析

• 平面度和翘曲度测量

• 2D/3D表面粗糙度 

( 符合ISO4287/ISO25178等国际标准 ) 

Ra,Rz,Rpc,Sa,Sz…

应用案例

案例1 – 太阳能电池板的金字塔3D图、颗粒分析和2D轮廓

案例2 – 评估太阳能电池板切割槽的几何尺寸

案例3 – 评估太阳能电池板2D和3D粗糙度

关键词：行业动态，解决方案，测量