扫描电镜等离子清洗机
扫描电镜等离子清洗机
CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
产品特点
双等离子清洗源
一机多用
高效低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40 |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器 |
气体控制 | 标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
透射电镜样品杆清洗机
CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效、低等离子体轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用品牌，保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。
产品特点
u 双等离子清洗源
u 远程清洗、检漏两用
u 快速高效
u 即插即用
技术参数
产品型号 | CIF-TEM |
真空泵 | Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵 |
入口压力1.0个大气压（0psig），出口压力1.4个大气压（6.5psig） | |
高抽速60L/min，极限真空3.3 x 10-1 mbar | |
KF16入口接口 | |
等离子电源 | 两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器 |
13.56MHz等离子RF电源，5-100W可调 | |
清洗室 | 清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm |
多可放置3路TEM hoder，可清洗FEI、JOEL等TEM品牌样品杆 | |
气体控制 | 美国MKS数字真空计 |
两路清洗气体控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体 | |
控制方式 | 7寸全彩触摸屏操控方式，人机互动界面 |
冷却方式 | 风冷 |
电源 | 电源220V、50/60Hz |
质量保证 | 二年免费，终身维护 |
透射电镜样品杆存储仪
CIF 透射电镜（TEM）样品杆存储仪采用无油隔膜泵，通过抽真空产生100 Pa恒定洁净无污染的真空环境，特别适用于TEM透射电镜样品杆的日常真空储存或水汽去除，简单方便实用。
产品特点
u 洁净无污染
u 真空度稳定
u 方便实用
技术参数
产品型号 | CIF-VS |
真空泵 | 双级无油隔膜真空泵，抽速0.7 m3/h |
气体控制 | 采用质量流量控制器（MFC），测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响，测量范围1Pa-100kPa |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁，自动保证恒定真空 |
存储气压 | 200-1000Pa |
存储数量 | 5支样品杆 |
适配品牌 | THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动界面 |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
增值电信业务经营许可证：B2-20170012
